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首頁(yè) - 應(yīng)用案例 - 半導(dǎo)體&光伏 - PVD晶圓自動(dòng)倒片機(jī)上下料
PVD晶圓自動(dòng)倒片機(jī)上下料
  • 工藝應(yīng)用

    PVD晶圓倒片上下料


  • 機(jī)器人型號(hào)

    -GBT-P7A-700  （了解更多）

    -GBT-S3A-400-C  （了解更多）

    -GBT-S6A-600-C  （了解更多）

  • 系統(tǒng)組成

    -晶圓檢測(cè)Mapping系統(tǒng)

    -全自動(dòng)上盤(pán)、盤(pán)尋邊系統(tǒng)

    -全自動(dòng)上片、下片系統(tǒng)


  • 客戶(hù)所得經(jīng)濟(jì)效益

    -良品率≥99.5%

    -節(jié)拍達(dá)到：288pcs/h


  • 關(guān)鍵技術(shù)

    -機(jī)器人通過(guò)國(guó)家潔凈等級(jí)的認(rèn)證，可在無(wú)塵環(huán)境中使用

    -機(jī)器人配備高速I(mǎi)/O, 實(shí)現(xiàn)對(duì)圓晶Mapping檢測(cè)

    -高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤(pán)無(wú)擦碰

  • 競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

    -機(jī)器人重復(fù)定位精度高（重復(fù)定位精度：0.02mm)，可確保晶圓上下片無(wú)碰傷 

    -高速搬運(yùn)無(wú)抖動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)晶圓高速上下料 

    -柔性高、兼容性好、穩(wěn)定易操作

推薦機(jī)器人