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首頁 - 應用案例 - 半導體&光伏 - MOCVD晶圓倒片機上下料
MOCVD晶圓倒片機上下料
  • 工藝應用

    -MOCVD晶圓倒片上下料

  • 機器人型號

    -GBT-P7A-700  （了解更多）

  • 系統(tǒng)組成

    -兩臺四軸機器人和一臺六軸機器人銜接前道設備對加工完成的晶圓和未加工的晶圓進行一個上下料的工藝。

  • 客戶所得經(jīng)濟效益

    -減少成本，提高產(chǎn)能和效率 

    -保證節(jié)約人力成本，生產(chǎn)穩(wěn)定性

  • 關鍵技術

    -機器人通過國家潔凈等級的認證，可在無塵環(huán)境中使用。 

    -機器人配備高速I/O, 實現(xiàn)對圓晶Mapping檢測 

    -高穩(wěn)定性保證取放晶圓和料盤無擦碰

  • 競爭優(yōu)勢

    -晶圓定位精度：±0.05mm、±0.1° 

    -上下片節(jié)拍：425pcs/h 

    -機器人重復定位精度高（重復定位精度：0.02mm)，可確保晶圓上下片無碰傷 

    -高速搬運無抖動，可實現(xiàn)晶圓高速上下料 -良品率：≥99.9%

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